新松半导体申请基于多类型传感器协同的AWC校准

　　国度学问产权局消息显示，沈阳新松半导体设备无限公司申请一项名为“一种基于多类型传感器协同工做的AWC校准系统”的专利，公开号CN121018520A，申请日期为2024年5月。专利摘要显示，本发现供给一种基于多类型传感器协同工做的AWC校准系统，高速图像捕获传感器，采集触发信号和晶圆图像，通过上位机识别晶圆挪动轨迹并输出节制信号给机械手，使其承托晶圆进行轨迹纠偏。本发现通过节制实现对晶圆、机械手的轨迹、以及进行多点，并通过成果的反馈实现弥补、修新生动发生的误差，并对反复性精度较低的机械手能实现搬运弥补、批改达到高精度的结果。天眼查材料显示，沈阳新松半导体设备无限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以处置电气机械和器材制制业为从的企业。通过天眼查大数据阐发，沈阳新松半导体设备无限公司共对外投资了2家企业，参取招投标项目1次，财富线条。

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